• (Harte) Röntgenphotoelektronenspektroskopie (HAXPES, XPS)
  • Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie (ToF-SIMS)
  • Ellipsometrie
  • Analytische Rasterelektronenmikroskopie (REM)
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS)
  • Transmissions-Rasterelektronenmikroskopie (T-SEM)
  • Auger-Elektronenmikroskopie (SAM)
  • Röntgenabsorptionsspektroskopie (XAS, NEXAFS)
  • Infrarotspektroskopie und -mikroskopie
  • Weisslichtinterferenzmikroskopie
  • Beschichtungstechnologien: Elektronenstrahlverdampfen und Magnetronsputtern, Plasma-CVD
  • hotoelektronenspektroskopie für die chemische Analyse (ESCA)
  • Oberflächen-Messtechnik im Mikro- und Nanometerbereich (VDI/VDE-GMA 4.22)
  • Quantitative Microstructural Analysis (VAMAS/TWA 37)
  • Ellipsometer mit sich ergänzendem Spektralbereich und Ausrüstung

Weiterführende Informationen