Dünnschichttechnik; Elektrochemie; Oberflächenmesstechnik

AFM-Abbildung einer 50 nm "dicken" PVD-Goldschicht

Unsere Arbeitsgruppe befasst sich mit der Untersuchung von dünnen Schichten und funktionellen Oberflächen wie Hartstoffschichten (z.B. Verschleißschutz), optischen Schichtsystemen (z.B. UV-Schutz) oder metallischen Überzügen (z.B. Korrosionsschutz oder als elektro-magnetische Abschirmung).

Zur Bestimmung von mechanischen, optischen, mikrostrukturellen und elektrischen Oberflächen- und Schichtkenngrößen, allgemeinen Oberflächen- und Schichteigenschaften wie Oberflächentopographie und -energie, Schichtdicke und Haftung steht eine Vielzahl von Prüfverfahren akkreditiert nach DIN EN ISO/IEC 17025 zur Verfügung.

Dünne Schichten können mit physikalischen und chemischen Verfahren (PVD, CVD, ECD) hergestellt werden.

Schadensanalyse (Gutachten), Qualitätssicherung (Prüfberichte), Standardisierung (DIN, EN, ISO, etc.), geförderte Drittmittelprojekte und Auftragsforschung, Beratung und Information, Referenzverfahren und -materialien, interne und externe Dienstleistungen sind weitere Tätigkeitsschwerpunkte.

Kompetenzen und Arbeitsbereiche

• Prüfverfahren - Qualitätssicherung von Schichtsystemen
  Prüfung von Schichten und Oberflächen: Oberflächentopographie und -energie, Schichtdicke, Haftung, Materialkenngrößen
• Beschichtungsverfahren - Herstellung von Schichtsystemen
  Physikalische und chemische Vakuumbeschichtung, elektrochemische Schichtabscheidung
• Referenzverfahren
• Referenzmaterialien
• Standardisierung (PDF)

Weitere Kompetenzen, Projekte und Kooperationen

Arbeitskreis Ellipsometrie (AKE) - Paul Drude e. V.

Veröffentlichungen der Arbeitsgruppe finden Sie in der Datenbank Publica

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