Arbeitsgruppe
Die Längeneinheit Nanometer (nm) bedeutet 10-9 m. Sie entspricht somit dem millionsten Teil eines Millimeters.
Die Charakterisierung und Bewertung von Feinausscheidungen mit Durchmessern von wenigen Nanometern war schon immer ein Forschungsgebiet der klassischen Metallkunde. Dabei kommt die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zum Einsatz. So wird z.B. die Festigkeit vieler technisch bedeutender Aluminiumlegierungen durch die Größe und den Volumenanteil von nur wenige Atomlagen dicken Feinausscheidungen bestimmt.
Mit zunehmender Miniaturisierung in der Elektronik und Mikrosystemtechnik wird es immer wichtiger, hoch auflösende abbildende Verfahren auch zur Optimierung und Prozesskontrolle der Bauteile selbst einzusetzen. Als Beispiel wird der Querschnitt durch einen Hochleistungstransistor gezeigt, der aus strukturierten Halbleiter-, Isolator- und Metallschichten aufgebaut ist, welche teilweise nur wenige Nanometer dick sind.
Aufbau eines HBT-Transistors aus nanoskaligen Schichten Focused Ion Beam (FIB)-Abbildung.
Die Schwerpunkte der Arbeit ergeben sich derzeit aus den Fragestellungen von zwei DFG-Vorhaben zu den Themen „Materialaspekte beim Bremsen“ und „Verschleißmechanismen bei beschichteten Implantaten“, sowie aus Industrievorhaben und Prüfaufträgen aus den Bereichen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Darüber hinaus werden Fragen der Werkstoffauswahl und der Werkstoffalterung insbesondere aus dem Bereich Energietechnik sowie zahlreiche Anfragen nach Mikro- und Nanocharakterisierung von Werkstoffen aus anderen Projekten der BAM bearbeitet. Im Einzelnen geht es um folgende Teilaufgaben:
In der Arbeitsgruppe stehen folgende Geräte zur Verfügung:
Service
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